HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy)

소개글

HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy)에 대한 보고서 자료입니다.

목차

‘에피텍시(=Epitaxy) 란?’ 및 종류

‘기상 에피텍시’ 란 ?

‘HVPE’ 에 대하여
1) HVPE를 이용한 GaAs 성장
.2) HVPE를 이용한 Sapphire 기판 위 GaN 성장

HVPE 의 장 · 단점

혼합(mixed)-HVPE 란?

Q. A 시간

본문내용

- Epitaxy 란?
기판웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는
얇은 단결정 막을 기르는 기술
HVPE는 현재 차세대 광원으로 각광
받고 있는 GaN기판 제작법
고속성장, 소자용 결정층의 제작에 용이,
낮은 온도에서 제작

키워드

HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy),   HVPE,   Epitaxy,   반도체,   반도체공학,   에피텍시