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용이,
낮은 온도에서 제작 ‘에피텍시(=Epitaxy) 란?’ 및 종류
‘기상 에피텍시’ 란 ?
‘HVPE’ 에 대하여
1) HVPE를 이용한 GaAs 성장
.2) HVPE를 이용한 Sapphire 기판 위 GaN 성장
HVPE 의 장 · 단점
혼합(mixed)-HVPE 란?
Q. A 시간
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에피텍시
-그리스 문자 epi(위에)와 taxis(배열)의 합성어로서 결정구조를 갖는 물질(기판)위에 기판과 같거나 또는 다른 결정구조를 갖는 물질을 성장시키는 기술
-호모에피텍시 : 기판과 같은 결정구조를 성장하는 것
-헤테로에피텍시 : 기판
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에피텍시라고 한다.
그리고 반대로 결정성이 없는 유리와 같은 무정형 박막을 아모르퍼스라고 한다. MEB는 갈륨비소등의 초격자 작성에서 자주 쓰이는 말이다.
● CVD법-기상화학 성장법
실리콘 박막을 CVD법으로 만드는 것을 예로 들어 설명해
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