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목차
Epitaxy
-Epitaxy란?
-성장목적
-종류
LPE
-LPE 성장 원리
-성장장치에 따른 분류
-냉각방법에 따른 분류
-결함
-Epitaxy란?
-성장목적
-종류
LPE
-LPE 성장 원리
-성장장치에 따른 분류
-냉각방법에 따른 분류
-결함
본문내용
Epi – on
Taxy – arrangement
-결정구조를 갖는 물질(기판)위에 기판과 같거나
또는 다른 결정 구조를 갖는 물질을 성장시키는 기술
-기판은 그 위에 새로운 결정을 성장시키는 시드 결정
(seed crystal)이 되며,새 결정은 기판과 같은 결정구조 및
방향성을 가진다.
Taxy – arrangement
-결정구조를 갖는 물질(기판)위에 기판과 같거나
또는 다른 결정 구조를 갖는 물질을 성장시키는 기술
-기판은 그 위에 새로운 결정을 성장시키는 시드 결정
(seed crystal)이 되며,새 결정은 기판과 같은 결정구조 및
방향성을 가진다.
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- 가격3,000원
- 페이지수24페이지
- 등록일2010.06.25
- 저작시기2009.9
- 파일형식파워포인트(ppt)
- 자료번호#621913
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