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수소화물 기상 에피택시
(HVPE, Hydride Vapor Phase Epitaxy)
01
〔단결정 박막의 원료 물질〕➠ ➠〔고온로 내에 도입〕
（기상 에피택셜 성장이란?）
〔 화학 반응 또는 열분해〕➠
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에피택시에 널리 이용 1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및
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에피탁시는 방법에 따라 크게 세 가지로 분류되는데, 액상 에피택시(liquid phase epitaxy, LPE), 기상 에피택시(vapor phase epitaxy, VPE), 분자선 에피택시(molecular beam epitaxy, MBE)등이 있으며, 최근에는 서로 결합된 방법도 많이 사용된다.
1.LPE (Liquid Phase Ep
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에피택시는 반도체격자와 같은 결정질층을 형성한다. 에피택시라는 말은 ‘~위에 증착된’이라는 두 그리스 단어로부터 유래되었다. 보통 SiCl4 또는 실리콘화합물의 기상증착에 의하여 CVD에서와 비슷한 반응기에서 형성되는 부가적인 Si는
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기상증착법으로 성장한 Si 나노선의 구조 및 광학적 특성 연 구/곽동욱(D.W. Kwak) · 이연환(Y.H. Lee) 저
15.SolutionLiquidSolid (SLS) Growth of Silicon Nanowires/Andrew T. Heitsch, Dayne D. Fanfair, Hsing-Yu Tuan† and Brian A. Korgel
16. SolutionLiquidSolid (SLS) Growth of Silicon Nanowire
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에피택시 성장 기술을 이용한 양자점 제작
- 전자빔 리소그래피 기술을 이용한 게이트 제작
- 저온 전기 측정을 통한 양자점 트랜지스터 특성 분석
○ 연구 기대 효과
본 연구를 통해 고성능 양자점 트랜지스터 개발을 통한 전자 소자 기술 발
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택시 운전기사에서 작은 동네 목욕탕 그리고 지금의 대형 사우나운영까지 성실함과 자신감으로 성공하는 삶을 사시는 아버지, 합리적인 투자가능성을 점치며 지금의 사업성공까지 아버지를 내조하신 어머니, 이 두 분은 제게 노력하는 즐거
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택시 운전기사에서 작은 동네 목욕탕 그리고 지금의 대형 사우나운영까지 성실함과 자신감으로 성공하는 삶을 사시는 아버지, 합리적인 투자가능성을 점치며 지금의 사업성공까지 아버지를 내조하신 어머니, 이 두 분은 제게 노력하는 즐거
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