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분자선 에피택시(molecular beam epitaxy, MBE)등이 있으며, 최근에는 서로 결합된 방법도 많이 사용된다.
1.LPE (Liquid Phase Epitaxi)
결정재료가 녹아 있는 포화용액을 기판과 접촉시켜서 결정을 성장시키는 것으로, *에피택시
1.LPE
2.VPE
3.MBE
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- Epitaxy 란?
기판웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는
얇은 단결정 막을 기르는 기술
HVPE는 현재 차세대 광원으로 각광
받고 있는 GaN기판 제작법
고속성장, 소자용 결정층의 제작에 용이,
낮은 온도에서 제작&nbs
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Epi – on
Taxy – arrangement
-결정구조를 갖는 물질(기판)위에 기판과 같거나
또는 다른 결정 구조를 갖는 물질을 성장시키는 기술
-기판은 그 위에 새로운 결정을 성장시키는 시드 결정
(seed crystal)이 되며,새 결정은 기판과 같은 결정
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결정재료가 녹아 있는 포화용액을 기판과 접촉시켜서 결정을 성장시키는 것
LPE법은 많은 반도체 결정들을 용융점보다 훨씬 낮은 온도에서 성장시킬 수 있는 기술 (반도체와 제2의 원소의 혼합물은 그 반도체 자체보다 낮은 온도에서 녹
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Epitaxial Self-Coiling of Polar Nanobelts
Xiang Yang Kong, Yong Ding, Rusen Yang, Zhong Lin Wang*
Growth of ZnO single crystal thin films on c-plane (0001) sapphire by plasma enhanced molecular beam epitaxy- CHEN Y. BAGNALL D. M. ZHU Z. SEKIUCHI T. PARK K.-T. HIRAGA K. YAO T. KOYAMA S. SHEN M. Y.
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