마이크로 머신의 세계1

소개글

마이크로 머신의 세계1에 대한 보고서 자료입니다.

본문내용

1.1 다결정 실리콘으로 만들어진 마이크로 톱니바퀴와 집게
1.2 정전 마이크로 모터
1.3 머리빗 모양의 정전 진동자
1.4 움직임의 크기나 방향을 변화시키는 마이크로 전달기
1.5 이방성 에칭에 의한 마이크로 구조물
1.6 X선 사진 식각을 이용한 두꺼운 마이크로 구조물

키워드

마이크로머신,   머시닝,   엑츄에이터,   제작기술,   응용분야