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1.1 다결정 실리콘으로 만들어진 마이크로 톱니바퀴와 집게
1.2 정전 마이크로 모터
1.3 머리빗 모양의 정전 진동자
1.4 움직임의 크기나 방향을 변화시키는 마이크로 전달기
1.5 이방성 에칭에 의한 마이크로 구조물
1.6 X선 사진 식각을 이용
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Micro Machine, MEMS 같은 동의어
초소형 기계, 초소형 시스템
현미경에 의존하지 않으면 그 존재를 알지 못함
크기는 ㎛이하의 초 미세 구조물 및 전기 시스템
전기적 기계성질을 가지는 어떤 System
MEMS는 마이크로머신이 느끼고 생각하며 운동
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마이크로 메카니즘, 그것을 움직이게 하는 마이크로 액추에이터를 하나로 하는 시스템을 일컫는다. 크기는 수mm에서 수nm까지에 이르며 수cm 크기라 해도 마이크로머신이라고 불리는 경우도 있다. 이 작은 시스템 안에 감지센서, 이동기계 및
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e는 100℃ 이다.
Ⅱ. MEMS
1. MEMS 의 정의
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로시스템, 마이크로머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의
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공학자들이 기술 개발에 한창이다. 현재 전산이 이공계 각계에서 필수적인 기본 기술로 사용되로 있는 것처럼 MEMS 기술도 얼마 후면 모든 분야에 침투할 것으로 보인다. 다시 말해 시장으로서의 규모도 상상을 초월하게 된다. 산업적인 규모
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