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Micro Machine, MEMS 같은 동의어
초소형 기계, 초소형 시스템
현미경에 의존하지 않으면 그 존재를 알지 못함
크기는 ㎛이하의 초 미세 구조물 및 전기 시스템
전기적 기계성질을 가지는 어떤 System
MEMS는 마이크로머신이 느끼고 생각하며 운동
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*MEMS (Micro Electronic Mechanical System : 미세전자기계시스템) : 전자(반도체)기술, 기계 기술, 그리고 광기술 등을 융합하여 마이크로 단위의 작은 부품 및 시스템을 설계, 제작하고 응용하는 기술.
*RF-ID (Radio Frequency Identification) : 기존 바코드 기능
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System, NASA Technical Memorandom 85062. 1983.
Ginter, S. Gisler, G. Hanks, J. Havenhill, D. Robinson, W. and Spina, L. Space Craft Energy Storage Systems, IEEE Aerospace & Electronic Systems Magazine, 1998. 13(5): p.27-32.
Post, R.F. Fowler, T.K. and Post, S.F. A High-Efficiency Electromechanical B
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System은 선진국에서 Motor Force를 직접 이용하는 EMB(Electro-Mechanical Brake) System 형태, 또는 Hydraulic을 매개체로 하는 전자식 유압 브레이크 시스템, 즉 EHB(Electro-Hydraulic Brake) system을 개발 중에 있다.
EMB System은 Fail Safe 및 Motor Power 등의 문제로 다소
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electronic junction은 solar cell, battery, 발광 다이오드 등으로 다양하게 응용될 수 있다.
4) MEMS(micro electro mechanical system)
멤스(MEMS)란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미
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