신소재 실험 보고서 - 다결정 실리콘 웨이퍼 표면 관찰

소개글

신소재 실험 보고서 - 다결정 실리콘 웨이퍼 표면 관찰에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 실험제목
2. 실험 일시 및 장소
3. 사용한 시약 및 실험기자재
4. 실험목적
5. 실험방법 및 내용
6. 실험결과
7. 결과 분석 및 고찰

본문내용

난 걸 볼 수 있다.
10. 참고자료
* 09-104호 실험기기들
SEM 시편 충돌 시 발생하는 2차 전자의 그래프
SEM 현미경
SEM내부(진공질소 베팅)
전극코팅기계
* HF (플루오린화수소. hydrogen fluoride)
수소의 플루오린화물로서 발연성(發煙性)이 강한 무색의 유독성 액체이다. 수소와 플루오린을 직접 반응시키거나 플루오린화수소칼륨을 가열하여 만든다. 또 반응성이 풍부하여 각종 금속의 산화물·수산화물 등과 반응하여 그 염을 생성한다. 물에 잘 녹는데, 수용액을 플루오린화 수소산이라고 한다. 무기 ·유기화합물의 플루오린화 원료, 파라핀의 알킬화반응에서의 촉매로 사용되는 외에 탈수제로도 사용된다. 또 유리 ·석영 제품 등은 쉽게 침식되므로 폴리에틸렌, 구리, 백금 등으로 만든 용기를 사용하며 매우 유독하다.
* BOE (Buffered Oxide Etchant)
NH4F(Amonium Fluoriede)와 HF(Hydrofluoric Acid)가 혼합된 화학물질로 Silicon Dioxide Etch에 사용된다. Etch시에 HF는 Oxide Etch에 직접관여하며 NH4F는 Etch Rate를 조정하여 Uniformity를 좋게하는 완충용액의 역할을 한다. Wafer 표면의 유기물 제거등 Cleaning Chemical로 사용되며 Metal Etch 용액의 일부가 되기도 한다.
* 에칭시 주의사항
화학약품을 취급하는 일에서는 항상 각별한 배려와 주의가 요구된다. 몇몇 금속들은 매우적은 농도만으로도 유기농에 해로운 작용을 끼친다. 또한 소화기관을 통한 흡입을 통하여 치명적인 해를 입을 수 있으므로 고무장갑을 필히 착용을 하고 또한 배기덕트가 있는 곳에서 작업을 해야 한다. 모든 시액 사용 시 안전 도구를 착용하고 배기덕트 내에서 에칭을 한다. 시액을 버릴 경우 항상 희석을 시킨 뒤 배기통에 버린다. 가연성이고 폭발성의 물질들은 가열하거나 화염가까이에서 취급을 하지 않는다. 알코올과 염산의 혼합물은 여러 가지 형태로 반응할 수 있다. 따라서 에탄올 5% 메탄올 35%의 염산함량을 초과해서는 안된다. 알코올과 인산의 혼합물은 에스테르형성을 가져올 수 있다 또한 피부와 호흡을 하게 되면 큰 해독을 가져 올 수도 있다. 불산은 강력한 피부 및 호흡독성을 가졌다. 또한 유리를 부식시킬 수가 있으므로 불산으로 작업을 한 경우에는 시편을 철저히 세척을 한 후에 건조시켜서 현미경으로 관찰해야 한다.

키워드

실리콘,   웨이퍼,   다결정 실리콘,   SEM 현미경