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난 걸 볼 수 있다.
10. 참고자료
* 09-104호 실험기기들
SEM 시편 충돌 시 발생하는 2차 전자의 그래프
SEM 현미경
SEM내부(진공질소 베팅)
전극코팅기계
* HF (플루오린화수소. hydrogen fluoride)
수소의 플루오린화물로서 발연성(發煙性)이 강한 무색의
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소자 제작 공정
SOI (Silicon-on–Insulator) 기판준비
보호 산화막 (screen oxide) 증착
채널층 불순물 주입
보호 산화막 제거
건식산화 (dry oxidation)
다결정실리콘 (poly-Si) 게이트 증착
다결정실리콘 (poly-Si) 게이트 이온주입
다결정실리콘 (poly-S
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질실리콘, 다결정실리콘, 비정질실리콘, 화합물반도체
시스템이용 : 독립형시스템, 계통연계형시스템, 복합발전시스템
라. 기술개발경위
인공위성 및 낙도오지용 전원으로 이용하다 오일쇼크이후 미래의 대체에너지원으로 본격 개발
마.
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1. Chip
전자회로를 만들어 부착한 반도체 조각이다.
집적회로는 웨이퍼라고 하는 지름 10～20㎝ 정도의 실리콘 기판 위에 노광․에칭․확산․증착 등의 공정을 거쳐 실리콘 산화막․다결정실리콘․알루미늄 등의 회로 패턴이
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Czochralski Growth
단결정 실리콘을 성장시키는 대표적인 방법
도가니를 사용하여 성장재료를 melting시키고, seed 결정을 사용하여 dipping 한 뒤에 이를 서서히 회전하면서 끌어올려 결정성장을 시킴
다결정실리콘을 도가니 안에 넣고 고온으
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다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥6
(1) 결정화 순서
(2) 공 정
(2-1) 전반적 공정
(2-2) ELA 공정
(2-3) SLS 공정
(2-4) ELA & SLS 공정 비교
(2-5) CGS 공정
(2-6) MIC & MILC
(3) 저온 폴리실리콘 결정화 형성 기
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실리콘 반도체 태양전지
가)개요
나)실리콘 단결정 태양열 에너지
다) 다결정 실리콘 태양전지
라) 비 정질 실리콘 계 태양전지
마) 박막 형 태양전지
2) 화합물 반도체 태양전지
가) I-III-VI족(CIS)태양전지
나) II-VI족(CdT
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