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주사전자현미경의 원리 발표(독일)
- 1938년 아르덴네(CM. von Ardenne): 주사전자현미경 제작(독일)
- 1961년 스미스(K.C.A. Smith): 2차 전자검출기 적용시킴, 분해능 향상(25nm)
- 1964년 영국(캠브리지회사): 주사전자현미경 상품화 함
일본(일본광학회사)
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한국이 차량용 반도체 98%를 수입에 의존하고 있는 가운데 최근 차량용 반도체 생산·공급에 소요되는 기간이 평소보다 2배 이상 늘어난 것으로 나타났다. 차량용 반도체 부족 사태로 시작된 반도체 공급 부족은 최근 들어 TV와 스마트폰, 가전
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주사전자현미경(SEM)의 역사
1935년 독일 베를린의 기술대학 교수였던 막스 크롤(Max Knoll)에 의해 주사전자현미경의 원리가 소개되었다. 주사전자현미경의 늦은 발전은 분해능을 뒷받침할 수 있는 고성능의 주변장치(전자검출기, 화상모니터)
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주사전자현미경(SEM)의 활용 및 미래
-생명과학분야: 세포생물학, 조직학, 해부학, 기생충학, 진균학, 미생물학, 기타 미세 구조학
-재료공학: EDS통한 원소분석
-반도체분야: 품질개발 및 제품검사
-기타 품질관리분야: 정도관리
① 육종의 생
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주사전자현미경 개발(STEM)
1962년 독일&일본&캐나다
Charles Oatley, 최초의 SEM상용화
1982년 러시아
V.K. Zworykin 이 1942년 개발한 FE-SEM의 상용화
1990년대 반도체사업 활성화로 메머드회사 등장
2000년대 (주)미래
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