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화학적 및 전기화학적 방법
① 음극 전해 성막법
② 무전극 또는 무전기 성막법
③ 양극 산화법
④ CVD (chemical vapor deposition)
⑤ 액상 에피탁시법
⑥ Langmuir-Bliogett막 형성법
⑦ 흡착방법
(2) 진공 증착
① 물리적 기초
② 실험 기술
(3) 이
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은 나노미터 크기의 반도체(CdSe 코어에 ZnS 껍질을 입힌) 결정으로 만들어진 발광입자이다. 이 양자점은 기존의 염색물질이나 형광단백질로서는 불가능한 여러 분야에서 활용이 가능한 특성을 가지고 있다. 양자점은 무기물이므로 화학반응에
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은 연구실에서 널리 활용되고 있 다.
<그림 1-20.1 PLD 기본원리>
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학
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은 아세트산과 Glauber 염을 생성시킨다. 후자는 방사공정의 응고용액으로 사용된다.
참고문헌
● 화학공학편찬위원회, 화학공학대사전, 2판, 집문사, 1996, P233, 562, 793
● 김공수 외 3명,현대 고분자화학실험,형설출판사, 1994.2. P67∼68
● http://www.
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nano-pac.com/tek01.html
[10] http://www.chemexper.com
[11] http://100.naver.com/(네이버 백과사전)
[12] 이온교환과 침전법에 의하여 제조된 TiO2 광촉매의 물성과 광촉매 효과, 이원묵, 한밭대 응용화학공학부 에너지청정기술연구소 p.139
[13] TiO2 박막을 이용한 광
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