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표면의 3차원 구조적 변화를 알 수 있고, 세기 변화 신호로 부터는 국부적인 굴절률 변화를 알 수 있다.
3. 실험 및 결과
표면 형상을 3차원적으로 측정하기 위해서 그림 1과 같은 heterodyne 간섭계 및 그림 2와 같은 homodyne 간섭계를 구성한 후, 측
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표면 형상을 관찰하는데 사용해 왔다. 기술이 발전함에 따라 더 작은 구조물의 치수나 형상을 측정하고자 하는 요구가 증가하게 되었고, 이를 위해 Metrological AFM이 몇몇 국가 연구소에서 개발되었다. 대부분의 이런 시스템들은 정밀한 Flexure
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간섭계를 이용한 면 형상을 나타낸 것이다. newton Ring모양을 보면 동심원이 많이 생긴것을 확인 할 수 있었다. 이로인해 완전한 평면이 아니라 약간의 곡률이 있고 원 모양도 삐뚠 것으로 봐서 연마를 할 때 힘 조절이 그리 잘 되지 못함을 알
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profile peak area
A₂:lubricant filled profile valley area 1.표면형상의 높이 방향과 관계 있는 파라미터
2.표면형상의 길이 방향과 관계 있는 파라미터
3.길이 및 높이 방향의 복합 파라미터
4.파상도 파라미터 & 기타
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표면형상에 미치는 증착조건의 영향, 황철성, 27권4호, p539, 1989
[7] http://www.enbkorea.com
[8] 가시광에 반응하는 TiO2 광촉매의 제조 및 특성평가, 최재영, 석사학위논문, 금오공과대학교 대학원, p.5 ∼ 17, 2007
[9] http://www.nano-pac.com/tek01.html
[10] http://ww
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