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표면의 형상을 얻었다.
4. 결론
본 논문에서는 표면의 3차원 형상을 높은 해상도로 정밀하게 측정할 수 있는 새로운 진단기기에 대하여 논의하였다. 표면의 3차원 형상을 비접촉식 방법으로 측정하기 위하여 간섭계를 이용하였으며 거칠기가
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표면 높이 차가 큰 시료나 손상되기 쉬운 시료 등에서 Contact Mode와 같은 해상력을 주면서 시료에는 전혀 손상을 주지 않는다. 아래 그림에 서 Tapping Mode가 시료의 형상을 가장 잘 묘사하고 있음을 알 수 있다.
<그림13. AFM 측정 모드별 장단점
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표면 높이 차가 큰 시료나 손상되기 쉬운 시료 등에서 Contact Mode와 같은 해상력을 주면서 시료에는 전혀 손상을 주지 않는다. 아래 그림에 서 Tapping Mode가 시료의 형상을 가장 잘 묘사하고 있음을 알 수 있다.
<그림13. AFM 측정 모드별 장단점
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Laser의 특성 분석
반도체 Process 및 분석
Cell 내 Overlay Confirm 용 목 차
1. 서론
2. STM (Scanning Tunneling Microscope)
3. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometer)
4. AEM (Auger Electron Microscope)
5. AFM (Atomic Force Microscope)
6. NSOM (Near-field Scanning Optical
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형상과 차이에 대한 이유
→ 위의 실제형상 사진과 3D 모델링 사진을 비교하였을 때 전체적인 윤곽은 비슷하긴 하지만 동일한 형상이라고 하기엔 너무 차이가 났다. 우리 조는 3차원 형상을 만들기 위하여 실험 때 118개 이상의 좌표를 측정하
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