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방전을 진공방전 이라 한다.
기체를 통해서 방전하는 현상, 기체는 보통 전기 절연체이지만 어떤 특별한 상태에서는 중성분자의 이온화가 일어나 방전하기도 한다. 실 험 목 적
실 험 이 론
유리관 안의 기체의 종류에 따른 글로우방전
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tage Regulator Tube)
이 방전관은 부하의 단자전압을 일정하게 유지하기 위하여 부하와 병렬로 접속된다. 글로우 방전의 정 전압 성을 이용한 방전관의 전극 간 전압은 통상 수 정도이다.
참고문헌
[1]여인선, \'무전극 방전의 원리와 방전등에의
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방전이 유지되는 상태로 옮긴다. 때문에 C-G구간의 방전은 자속방전이라고 부르고 있다. 뇌방전의 경우는 방전을 유지해야 할 구름의 전하가 일단 소멸하므로 불꽃에 잇따른 자속방전은 없다. 자속방전은 코로나 방전(혹은 부분방전), 글로우
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Plasma란?
Plasma의 생성
Plasma의 특성
Chamber 내에서의 DC 플라즈마
Chamber 내에서의 RF 플라즈마
Symmetrical System
Asymmetric System
이온화 된 기체
→ 물질의 제4상
구성 :
(-) 전위의 전자
(+) 전위의 이온
이온화 되지 않은 자연상태의 원자와 분
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방전 (DC Discharge)
(1) 파센 법칙(Pachen’s Law)
(2) DC 글로우 방전의 특성
2) 라디오 주파수 방전(Radio Frequency Discharges)
3) 마이크로파 플라즈마(Microwave plasmas)
5. 금속을 함유한 원료의 플라즈마 처리 공정
1) 증류와 승화 공정
2) 열
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