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진공방전(Vacumm Discharge)
기압에 의해서 0.001~0.00001
이하의 방전을 진공방전 이라 한다.
기체를 통해서 방전하는 현상, 기체는 보통 전기 절연체이지만 어떤 특별한 상태에서는 중성분자의 이온화가 일어나 방전하기도 한다.
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Discharge
1. Architecture of the Discharge
1.1 Structure of DC Plasma
1.2 I-V characteristics of DC glow discharge
1.3 Voltage Distribution in DC glow discharge
2. Maintenance of the Discharge
2.1 Secondary Electron Emission
3. Three regions
3.1 Cathode Region
3.2 Anode Region
3.3 Glow Re
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방전 검출기(Pulsed Discharge Detector)
PDD는 방사능 물질을 사용하지 않는 안전한 검출기로 특히 잔류농약 및 할로겐 물질 분석시 기존의 방사선 ECD를 대체하여 사용할 수 있습니다. PDD는 헬륨기체의 주기적인 방전으로 생성된 광자가 dopant 가스인
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기체의 평균자유길이가 줄어들어 산란 효과가 커져 보다 균일한 두께의 코팅을 얻을 수 있다. 하지만, 압력이 높아지면 일반적으로 코팅조직은 기공의 많은 주상정조직이 생기고, 또 어떤 증발원은 불필요한 방전을 피하고 방전효과를 높이
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기체의 평균자유길이가 줄어들어 산란 효과가 커져 보다 균일한 두께의 코팅을 얻을 수 있다.
하지만, 압력이 높아지면 일반적으로 코팅조직은 기공의 많은 주상정조직이 생기고, 또 어떤 증발원은 불필요한 방전을 피하고 방전효과를 높이
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