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wafer
(3) adsorb (4) diffuse (5) decompose (6) the reaction by-products desorb
-PECVD를 이용한 실리콘 증착법
일반적으로 PECVD로 증착되는 필름은 silicon nitride (SixNy), silicon dioxide (SiO2), silicon oxy-nitride (SiOxNy), silicon carbide (SiC), 그리고 비결정성(amorphous silicon, α-Si)
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- 등록일 2013.07.06
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