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silicon, α-Si)이다. 실리콘 소스 가스인 실레인(SiH4)은 산소계 소스 가스와 결합하여 silicon dioxide를 만들어 내거나 질소계 소스 가스와 결합하여 silicon nitride를 만들어 낸다.
PECVD를 이용한 실리콘 공정의 전체적인 모습은 위의 그림과 같다.
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파력발전의 국내외 기술 동향 ................................<23>
3. 결론 ..............................................................<24>
4. 용어정리 ........................................................<25>
5. 참고문헌 ........................................................<26>
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박막증착 공정
- 원자층증착법
- 플라즈마 강화 원자층증착법
2.2.2 식각 공정
- 조성물 구성비에 따른 식각문제 해결
2.2.3 포토리소그래피 공정
- 포토리소그래피와 나노임프린트
- 리소그래피를 결합한 리소그래피 방법
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박막 제조방법
- 원자층 증착법에 의한 ITO 박막 제조방법 및 인듐 박막 제조방법
- 표면 개질된 인듐 주석 산화물층 및 유기 전계 발광소자
- 산화인듐주석 표면의 CMP를 위한 조성물 및 방법
3. 결론 : 시장 및 기술동향에 대한
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대한석유협회 / 석유의 이해, p 9~17, p 113~151
대한 석유 협회1993) / 석유의 이해
정영규(2006) / 정영규의 경제학 원론&연습, 연경 문화사
Peter wiseman, 조성기 옮김 / 석유화학공업, p 1~13 Ⅰ. 서론
Ⅱ. 석유(원유)의 개념
Ⅲ. 석유(원유)의 종류
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