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전문지식 1건

thin film[박막]에 대한 정의와 제조방법 정리
wafer (3) adsorb (4) diffuse (5) decompose (6) the reaction by-products desorb -PECVD를 이용한 실리콘 증착법 일반적으로 PECVD로 증착되는 필름은 silicon nitride (SixNy), silicon dioxide (SiO2), silicon oxy-nitride (SiOxNy), silicon carbide (SiC), 그리고 비결정성(amorphous silicon, α-Si)
박막, 나노박막구조, CVD process, 박막 나노박막구조, thin film[박막]에 대한 정의와 제조방법 정리,
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