반도체 공정 - ellipsometer[엘립소미트리]에 대해서

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두께 측정 ● 측정방식에 따른 분류 ● 측정의 어려움 2. 반도체 공정중 Oxidation 사용분야 ● Oxidation(산화막 성장) ● 실리콘 산화막의 용도 ● 반도체 공정 ● 열 산화의 장점 ● 건식산화의 장점과 단점 ● 습식산화의 장점과 단점