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재료와 전해액의 전압, 전류 관계를 잘 이해하고 있어야 한다.
- 전해 연마에 의해서 박판을 만들 때에는 금속 표면의 모든 부분을 고르게 연마해야 한다.
* 참고문헌
전자현미경 시편 제작 - 이 정 용 저
실용 X선 회절분석 - 이 형 직 역
X-선 과
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재료와 전해액의 전압, 전류 관계를 잘 이해하고 있어야 한다.
- 전해 연마에 의해서 박판을 만들 때에는 금속 표면의 모든 부분을 고르게 연마해야 한다.
* 참고문헌
전자현미경 시편 제작 - 이 정 용 저
실용 X선 회절분석 - 이 형 직 역
X-선 과
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박막증착, 표면/계면 제어, 초정밀 식각등의 제반 기반기술의 확립과 관련 평가.분석기술 개발
'02∼'06
(5년이내)
후보
4. 추진체계
□ 기관별 역할분담
구 분
기 능 및 역 할
나노기술
전문위원회
○나노기술종합발전 연도별 시행계획 수립.조
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웨이퍼와 마주보고 있는 알루미늄 타깃으로부터 아르곤 이온의 충돌에 의해 튀어나온 알루미늄 원자가 웨이퍼에 쌓여 박막이 된다.
스퍼터링은 진공증착과 비교하면 날아가는 알루미늄 원자의 속도가 100배나 빠르기 때문에 박막과 웨이퍼
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(Resistivity), 면저항(Sheet resistance) 측정의 의의
(2). 4점 탐침기 (Four point probe)
(3) 스타일러스(Stylus)
3. 기기 및 재료
4. 실험방법
5. 실험보고서
1). 증착된 알루미늄의 비저항
2). 증착된 알루미늄의 면적
3). 광학 현미경을 통한 비교.
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