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증가하면 산화-환원능력이 떨어진다.
II.물리적 부식
-시료의 표면에 화학물질이 남지 않고 깨끗하다는 장점이 있다.
-간섭막 코팅법, 이온 부식법, 가열 부식법 등이 있다. 부식이란?
전기화학적부식
물리적 부식
에칭용액
Cu
Al
Fe
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에칭에서 주로 사용되는 용어들에 대한 정리
2. dry etching
dry etching의 종류, 메커니즘, 사용되는 가스와 장단점 그리고 장비들을 보기 쉽게 정리
3. wet etching
wet etching의 종류, 메커니즘, 사용되는 용액과 장단점 그리고 장비들을 보기 쉽
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에칭할 수 있는 Wet 에칭용액을 본 실험을 통해 찾아 내었다. 이 때 사용한 Ti 에칭액과 기판 Wafer의 종류별 SAW Filter 특성은 다음과 같이 요약된다.
1. Al/Ti/Quartz(SiO2) 구조의 SAW Filter에 있어서 Al전극과 Quartz 기판은 식각시키 지 않으며 Ti 박막만
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. 또한 에칭용액을 매번 갈아 줄 수 없었기 때문에 에칭용액의 성능이 조금씩 떨어지는 것을 감안해야 한다는 점도 약간 아쉬웠다. 하지만 전반적으로 어려운 분야라고 생각했던 디스플레이를 직접 제작하면서 “정말 빛이 날까?”라는 생각
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에칭용액에 담가 녹색 부분을 벗겨낸다. 이때 용액은 옷에 묻으면 잘 지워지지 않음을 유의한다.
(8) 준비된 용액에 산화시켜 회로 이외의 금속을 제거한다.
(9) 완성된 기판을 물에 헹군다.
(10) 프린트된 PCB에 VIA를 맞춰 구멍을 뚫는다. 이때 VIA
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