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게이지가 보라색에서 무색으로 변한 것을 확인하고 Foreline 밸브를 잠근다.
4. 고진공 과정
Diffusion 스위치를 켜고 히터를 15 ~ 20분 정도 가열시킨다. 가열시킨 후 Foreline 밸브를 아래로 내린 후 고진공 밸브를 천천히 돌려준다. 이온화 게이지를
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이온화게이지를 켜서 Degas를 5분정도 켜둔다. Filament를 켜서 진공도를 측정
4 1~2시간 정도 진공시켜 10Torr 정도 만든다.
◈증착 과정
1 증착전류와 volt 스위치 켜고 증착전류는 100~110A 정도 까지 천천히 올린다.
2 Al이 다 녹고 5분 정도 증착시킨다
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게이지
Penning 게이지의 구조는 ring 형태의 anode에 cathode가 아래위에 하나씩 있다. 그리고 자기장과 전기장이 평행인 특징이 있다. 보통 수 kv의 전기장으로 방전을 일으켜 이온화가 일어나고 이때 생긴 전자들은 보통 수천 gauss 자기장의 영향
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기체에 따라 측정한 물리적 특성이 다르므로 주의가 필요하다. 진공작업에서 사 용하는 대부분이 이에 속한다. 열전도성, 이온화 정도, 전기전도성 등을 측정한다.
․작동 압력의 범위에 따라
- 저진공 게이지
- 고진공 게이지
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이온화법
위의 그림에는 증발된 증기의 이온화로 생긴 이온 전류를 측정하는 장치가 그려져 있다. 진공도를 측정하기 위한 이온 게이지를 증발된 물질의 흐름속에 장착한다. 이온 게이지 내의 가열한 음극 캐소드 C에서 전자들이 튀어나와 양
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