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게이지가 보라색에서 무색으로 변한 것을 확인하고 Foreline 밸브를 잠근다.
4. 고진공 과정
Diffusion 스위치를 켜고 히터를 15 ~ 20분 정도 가열시킨다. 가열시킨 후 Foreline 밸브를 아래로 내린 후 고진공 밸브를 천천히 돌려준다. 이온화 게이지를
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이온화게이지를 켜서 Degas를 5분정도 켜둔다. Filament를 켜서 진공도를 측정
4 1~2시간 정도 진공시켜 10Torr 정도 만든다.
◈증착 과정
1 증착전류와 volt 스위치 켜고 증착전류는 100~110A 정도 까지 천천히 올린다.
2 Al이 다 녹고 5분 정도 증착시킨다
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게이지
Penning 게이지의 구조는 ring 형태의 anode에 cathode가 아래위에 하나씩 있다. 그리고 자기장과 전기장이 평행인 특징이 있다. 보통 수 kv의 전기장으로 방전을 일으켜 이온화가 일어나고 이때 생긴 전자들은 보통 수천 gauss 자기장의 영향
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기체에 따라 측정한 물리적 특성이 다르므로 주의가 필요하다. 진공작업에서 사 용하는 대부분이 이에 속한다. 열전도성, 이온화 정도, 전기전도성 등을 측정한다.
․작동 압력의 범위에 따라
- 저진공 게이지
- 고진공 게이지
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게이지, 이온화 게이지
●실험 방법
1)회전 펌프와 확산 펌프 각각의 냉각수 관을 연결한다.
2)진공 장치의 주 스위치와 로터리 스위치를 켜고 로터리의 플러그를 꽂아 진공조 내부를 진공시킨다.(공기 누출 밸브가 반드시 잠긴 상태이어야 하
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