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게 13초정도가 소요된다. 하지만 더 확실한 patterning을 위해 20초 동안 overdevelop을 한다. 그 후 DI water에 wafer를 담가서 더 이상 develop이 진행되지 않도록 한다. develop이 끝나면 wafer 표면의 DI water를 blowing(N2)으로 제거한다.
5. Hard baking
Develop으로 PR
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재료공학과/김우병/CVC를 이용한 DSC적극재료용 TiO2나노분말 합성에 관한 연구
-석사학위논문/2000년/한양대 금속재료공학과/이창수/고에너지 볼밀링에 의한 Fe2O3 나노 분말의상전이
-박사학위논문/2002년/한양대 금속재료공학과/이창훈/나노구
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재료공학과 부교수를 역임했던 마크 매도우(Marc Madou)도 이번 연구에 많은 기여를 했다. 매도우 박사는 현재 생명공학업체인 나노젠社(Nanogen, Inc)의 부사장을 역임하고 있다.
Bio-MEMS는 생의학 마이크로전 자기계공학 시스템(biomedical micro electro
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과제”, 금빛출판사, (1997).
2. “연료전지 심포지움 2002 논문집”, 한국전기화학회 연료전지분과, (2002)
3. 김진용, 이효송, 김정수, 이영우, “외부전압 및 너비 변화에 따른 마이크로 채널의 유량 변화”, 충남대학교 화학공학과, (2004)
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마이크로컵 전기영동 디스플레이 --------------- 4
2. 마이크로 캡슐형 전기영동 디스플레이 --------- 8
3. 인플레인(In-plane) ------------------------------ 14
4. 전기영동 디스플레이 기술특허정보 분석 ----- 17
Ⅲ. 결 론 -------------------------
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