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플라즈마 환경기술
*플라즈마 야금
플라즈마 적용 분야
◈저온 플라즈마
*CVD
*표면개질
*공기청정기
*악취제거 장치 연구개발
*디젤엔진 배기가스 후처리 연
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plasma technology for flue gas treatment, Toyohashi University, JAPAN 가. 개요
나. 저온 플라즈마란?
다. 저온 플라즈마 발생기
(1) 펄즈스트리머 방전
(2) 無聲 방전
(3) 部分 방전
(4) 코로나 방전
라. 유해가스와의 반응기작
마. 첨가제 주입에
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배출가스 정화용을 개발 중에 있다. 또한 Mizuno 등은 실험실 규모의 습식 플라즈마 반응기(wet type plasma reactor)를 이용하여 소각로 배출가스 중의 다이옥신을 92%, HCl을 98%, NOx 및 SO2를 각각 50% 저감하였다고 한다. 1.저온 플라즈마란?
2.플라
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배가스를 예열하기 위한 장치가 필요 없다는 장점이 있다. 반면 배가스의 일부만이 전극 부근의 고온 플라즈마와 접촉하기 때문에 오염물질의 완전제거가 불가능하고 용매를 재이용할 수 없으며 생성되는 플라즈마의 에너지가 낮기 때문에
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배나 빠르기 때문에 박막과 웨이퍼의 부착강도가 크다. 2극 스퍼터링 이외에 웨이퍼와 타깃 사이에서 음극과 양극으로 플라즈마를 발생시키는 4극 스퍼터링 방식, 그리고 고주파를 이용하는 방식, 최근에는 전기장 이외에 자기장을 이용한 마
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