|
전자비임이 니켈(z=28)시편의 표면과 직각인 방향으로 20,000V (20kV)로 입사될 때, 상호작용하는 부피를 나타낸 것이다.
이러한 상호작용 및 그 결과가 탐지되고 이미지로서 스크린, CRT, 혹은 필름에 기록된다.
위의 단계들은 전자현미경의 종류
|
|
|
현미경은 수백만 배까지 상을 확대해서 관찰할 수 있고 결정 내의 원자배열(간격 1∼2 Å )까지 판별할 수 있으므로 생물학·의학·공학 등 넓은 분야에 걸쳐 이용되고 있다.
전자비임이 물질에 입사되면 여러가지 현상이 발생하여 여러가지
|
|
|
현미경(SEM)의 시편제작
시편은 보통 금속(대개 알루미늄)으로 만든 원통형에 holder에 고정되고 입사전자비임이 시편과 충돌할 때 발생하는 고전압의 정전하를 방지하기 위하여 적절히 접지되도록 고정된다. 대부분의 SEM은 시편을 회전시키거
|
|
|
전자비임이 시편내로 깊게 침투하고, 시편 내부에서 발생한 2차전자들이 시편 바깥으로 탈출 불가능하다. 작은 입사각에서는전자빔의 침투 깊이가 낮고2차전자들은 증가한다.
2차전자 detector에 대한 시편부위의 topologyEx) 둥글게 생긴 물체가
|
|
|
전자비임이 시편과 충돌할 때 발생하는 고전압의 정전하를 방지하기 위하여 적절히 접지되도록 고정된 다. 대부분의 SEM은 시편을 회전시키거나 x, y, z축 방향으로 이동시킬 수 있도록 조절이 가능하며 특정 detector에 의해서 전자들의 취합이
|
|
메뉴펼치기
