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가공하는 기법으로 모재가 MEMS장치의 부분이 된다. 두께가 두꺼운 구조물은 포장하기는 어렵지만 가공하기는 쉽다. 포장은 강성 지지대에 접착하므로써 패키징 된다.
MEMS 부품에서 고려되어야 할 사항들이 있다. 첫째, 체적과 무게는 치수의
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절삭가공하기 곤란한 연성재료를 경부하 에서 연속 절삭하여 고정도 표면다듬질과 같은 특수한 목적에 사용되어 왔으며, 특히 단결정인 천연 diamond는 경도가 크고 절인이 예리하고 절인의 조도가 작기 때문에 정밀절삭용 공구재료에 유리한
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절삭가공이란 절삭공구에 의하여 큰 쇳밥을 내며 가공하는 것으로 한정한다.
4. 기어 절삭 가공의 장,단점.
1) 장점
고무에서 다이아몬드까지대부분의 재료에 적용가능
치수 형상 및 표면상태의 높은 가공 정밀도
예리한 모서리, 복잡
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가공면의 표면정도 등이다. 9.1 서론
9.2 절삭양식
9.3 칩 생성기구
9.4 칩의 형태(chip formation)
9.5 절삭저항(cutting resistance)
9.6 절삭온도(cutting temperature)
9.7 공작물의 가공정밀도
9.8 공구수명 (tool life)
9.9 절삭성(machinability)
9.10 절삭 공구
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