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및 논의
결과 3-2 제너 다이오드
실험 목적
․ 제너 다이오드의 직류특성을 조사한다.
▣ 결과 값 및 종합 검토/논의
1. 제너 다이오드의 순방향 및 역방향 바이어스
2. 전원전압을 변화하는 경우
3. 제너 다이오드의 전압-전류
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법
⑥ Langmuir-Bliogett막 형성법
⑦ 흡착방법
(2) 진공 증착
① 물리적 기초
② 실험 기술
(3) 이온을 이용하는 방법과 음극 스퍼터링
① 2극 스퍼터링의 원리
② 음극 스퍼터링의 몇 가지 특수한 장치
③ 저압 음극 스퍼터링
④ 이온 프레이
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활용되고 있 다.
<그림 1-20.1 PLD 기본원리>
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진
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ELECTRONIC 15판
-BERNARD GROB저 향학당 1995.2.20
*전자공학의 기초
*기초회로 실측에 기초한 전자 전기 실험
-홍순관 도서출판 글로벌 1999.2.27
*기초 전자공학의 실험
-황형준, 김동탁, 강찬희 공저 학문당 1999.3.10 ` *.멀티미터
*.직류 전원공급기
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못하였고 또한 막상 실험을 해보니 준비가 많이 부족한 것을 깨달아서 4장에서의 실험에서는 예비레포트와 함께 미리 실험준비를 더 많이 해야 될 것 같다. 접지 개념 및 부하 효과
1. 사용장비 및 부품
2. 실험 방법 및 결과
3. 결론
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