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기술", 특히 "나노 기술" 적용에 사활을 걸고 있다.
참고 문헌
http://www3.yonhapnews.co.kr/cgi-bin/naver/getnews?
http://news.joins.com/society/l
http://www3.yonhapnews.co.kr/
cgi-bin/naver/getnews?032004092007500+20040920+1451
http://trm.kistep.re.kr/NTRM_final_HWP2002_0725.PDF
http://www.ki
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기술로서 평탄화 능력이 아주 우수하다. 반도체 공정에서 쓰이고 있는 대표적인 재료로서 SOG( spin on glass )와 polymide 수지막이 있다.
★electro deposition(전착)
전착의 원리
전착은 일반적으로 용액 중에 있는 금속이온이 cathode표면까지 이동하는
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가려면] ⑤과학기술. 대한민국 정책브리핑. 2021년 1월 22일.
https://www.korea.kr/news/contributePolicyView.do?newsId=148883026. 2021년 10월 5일에 확인함. 1. 서론
2. 본론
1) 온라인화
2) 저밀평탄화
3) 온택트사회
4) 독점적 전유
3. 결론
참고문헌
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기술은 장비나 마스크 자체만의 기술이 아닌 집적 공정 전반의 기술적 검토를 필요로 하고 있다. 광학적 해상도와 반비례의 관계를 가지는 초점심도(DOF, Depth of Focus) 문제의 경우, 반도체 기판 자체의 평탄화를 도모하기 위해 화학적 기계적
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기술 및 시장 분석
국내 시장 기술 및 시장 분석
장비 기본 설계 개념 및 개념도
화학적 기계적 연마 개념 및 도입 목적
CMP 공정의 개략도
- CMP 공정의 기본 원리
- CMP 구성 및 공정 원리
- CMP 구성 요소
세계 시장 기술 및 시장
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