|
리소그래피(X-ray Lithography)
집적회로를 만들 때 중요한 부분에 사진기술이 사용된다.
실리콘칩 표면에 만들고자 하는 부품의 패턴을 빛으로 촬영하고 그것이 감광된 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학처리나 확산처리를 하는데, 이를 총칭해 리
|
- 페이지 7페이지
- 가격 1,200원
- 등록일 2015.03.12
- 파일종류 한글(hwp)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
전자빔의 궤도 반경 및 전자빔의 에너지를 작게한 리소그래피 전용의 소형
싱크로트론이 완성됨 X-ray Lithography
x-ray lithography의 기본원리
x-ray 리소그래피 주요특징
마스크의 투과도
회절효과
싱크로트론 방사광
장점
단점
|
- 페이지 5페이지
- 가격 3,360원
- 등록일 2012.11.22
- 파일종류 한글(hwp)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
lithography a deposition(plating) a etching의 순으로 공정이 진행된다. 이 공정의 장점은 오직 seed layer 만을 etching하면 되기 때문에 etching에 의한 pattern 공차가 작고 line의 sharpness가 높다는 점이다.
-그 밖의 리소그래피 종류
1.Eletron Beam Lithography (전자빔
|
- 페이지 8페이지
- 가격 1,000원
- 등록일 2010.03.04
- 파일종류 한글(hwp)
- 참고문헌 있음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
Photo Lithography
정 의
PhotoLithography ?
Photo Lithography는 Wafer위에 Photoresist를 도포한 후 Exposure에 의해 Mask를 이용하여 원하는 형상의
Pattern을 형성하는 공정
≪ 그 림 ≫
Photo 공정순서
공정순서
〔Wafer 세정〕
〔표면
|
- 페이지 25페이지
- 가격 6,300원
- 등록일 2015.08.25
- 파일종류 피피티(ppt)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|
|
of free atoms. In an interactions model of this type the parameters of the material are simply the atomic numbers and the concentrations of the respective atoms . 1. What are the main applications of soft lithography?
2. Identify and explain the factors affecting the resolution of electron bea
|
- 페이지 3페이지
- 가격 1,000원
- 등록일 2010.02.19
- 파일종류 한글(hwp)
- 참고문헌 없음
- 최근 2주 판매 이력 없음
|