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유리에 poly-silicon 박막 증착을 이용해 태양전지 제조, TFT-LCD 제조 등)
핵융합 및 환경기술 분야
- 고온 플라즈마를 위한 중성입자 빔 heating 시스템 기술
- 전자빔에 의한 하폐수 처리 기술
Bio 기술 분야
- Biological structure 규명
- DNA 합성
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플라즈마 장치를 건설하고 있으며, S전기에서는 자동차 배출가스 정화용을 개발 중에 있다. 또한 Mizuno 등은 실험실 규모의 습식 플라즈마 반응기 (wet type plasma reactor)를 이용하여 소각로 배출가스 중의 다이옥신을 92%, HCl을 98%, NOx 및 SO2를 각각
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플라즈마로 표면 코팅처리를 하면 마모나 부식을 방지할 수 있고 유물의 상태를 개선하는 효과를 낼 수도 있다. 플라즈마가 내는 빛을 이용한 플라즈마표시장치(PDP:Plasma Display Panel)는 산업전반에 폭넓게 사용되고 있는데 대표적인 것이 PDP TV
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가되어져 있다.
1) 스퍼터링
스퍼터링에서는 ion등을 전계로 가속시켜 대상물질에 입사시키면, 대상물질에서 이온등이 방출되고, 이것들을 기판에 증착시키거나 코팅시키는 증착방법이다.
우선 플라즈마를 생성하기 위해 아르곤(Ar)가스 분위
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마 아크)가 노즐(냉각된 노즐 부분을 포함한 토치 끝부분의 부품을 칩이라고도 부름)를 통과할 때, 서멀 핀치 효과를 교묘하게 이용하여, 20,000~30,000도의 플라즈마 아크를 만들어 낸다.
이 초고온의 플라즈마 아크를 절단 열원으로 사용하여
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있다. 예를 들면, 플라스틱에 세라믹을 증착 할 수도 있다는 것이다. 더불어 대기압 방전이므로 진공방전에 비해 저렴하고, 공간제약을 받지 않으므로 적용가능분여가 훨씬 넓어진다. 대기압 저온 플라즈마는 반도체 공정 중 기판소독과 PCB
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플라즈마 전기추력기는 크게 전기회로, 진공상태에서의 엔진회로 및 전력 공급선 등으로 구분할 수 있으며, 그림 6과 같다.
엔진의 끝단 헤드에 연결된 하니스는 대전류가 순간적으로 흐르므로 단순 도체와는 다르다. 그림 6에서 알 수 있듯
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플라즈마가 내는 빛을 이용하는 플라즈마 표시장치 (PDP : Plasma Display Panel) 가 가장 유력한 후보로 보여진다. PDP는 구동 방법에 따라 AC, DC 형으로 나눌 수 있으며, 높은 시야각과 휘도를 낼 수 있고, 플라즈마의 높은 비선형 성질을 이용하면 색
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플라즈마 가스의 준비
아르곤가스 : 액체 아르곤 또는 압축아르곤 가스로 순도 99.99%(V/V%) 이상의 것
▷설정조건
고주파 출력 : 수용액 시료의 경우 0.8~1.4 ㎾, 유기용매 시료의 경우 1.5~2.5 ㎾로 설정한다.
가스의 유량 : 플라즈마 토치 및 시료
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플라즈마 장치를 건설하고 있으며, S전기에서는 자동차 배출가스 정화용을 개발 중에 있다. 또한 Mizuno 등은 실험실 규모의 습식 플라즈마 반응기(wet type plasma reactor)를 이용하여 소각로 배출가스 중의 다이옥신을 92%, HCl을 98%, NOx 및 SO2를 각각
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