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반도체 공정기술’, 생능출판사, 1999
[5] 윤현민, 이형기, \'반도체 공학\', 복두출판사, 1995
[6] 이종덕, \'실리콘집적회로 공정기술\', 대영사, 1997
[7] 신현국, \'CVD/ALD 재료 기술 동향\', (주)유피 케미컬, 2005
[8] 김상훈, ‘Plasma Enhanced Chemical Vapor Dep
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WHAT IS THIN FILM?
KIST Definition (1991)
- Thin Film : 기판층(substrate layer)에 형성된 수 m 이하의 두께를
갖는 것으로 독립적인 기능을 보유한 막.
ADVANTAGES OF THIN FILM
Complexibility and Accumulations
Easy processing
lm)
Easy Control of Thermal, Mechanical and Chemical Propert
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Chemical quenching)의 최소화
해 답 : ①
【문제 48】80KeV 이하 낮은 에너지의 감마선에 대한 반도체 검출기의 계측효율이 감소되는 이유를 가장 잘 설명한 것은?
① 검출기의 dead layer와 housing에 의한 감마선 감쇄
② Ge(Li)과 상호작용이 일어나지 않
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(3) 감도 및 검출 한계
(4) 적용범위
(5) 분석방법
10. XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) ESCA 장치의 주요 구조
(3) 광전자 스펙트럼 (Photoelectron spectrum)
(4) 화학적 이동 (Chemical shift)
(5) 정량 분석 (Quantitative analysis)
Reference
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반도 출판사, 1997
2. 서명교, 단위 조작, 문운당, 2001
3. Matis, K. A, Flotation Science and engineering, 1995
4. McCabe, Smith, Harriott, Unit Operation of Chemical Engineering, McGraw-Hill Korea, 6th, 2001(6th edition)
5. 박창호, 물질 전달 및 분리공정, 지인당, 1999
6. Gaudin, A.M :flotati
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반도케미칼(주)에 대한 재무제표 및 기업정보를 중심으로 분석한 상세보고서(종합신용등급, 현금흐름등급, Watch등급, 기업개요, 주요재무상황, 주요재무비율, 재무신용평정, 신용도 분석의견, 기업현황, 주요 주주현황, 경영진현황, 관계사현
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