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Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분석(Dep
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spectroscopy)
(1) AAS원리
(2) AAS의 구성
(3) 감도 및 검출 한계
1. 감도
2. 검출한계
(4) 적용범위
(5) 분석방법
2. XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) ESCA 장치의 주요 구조
(3) 광전자 스펙트럼 (Photoelectron spectrum)
(4) 화학적 이동 (Che
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구성
(2) 결과 분석
(3) DTA peak 해석
(4) 시차온도곡선의 이해
(5) DTA의 특징
4. FTIR (Fourier transform infrared spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) FTIR의 특성
(3) FTIR의 구성
(4) FTIR에서의 Sampling 기법
5. AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구
조성측정방법 TGA, XRD DTA, 재료의 조성 측정방법(XRD, TGA, DTA, FTIR, AES, EDS, XRF, ICP-MS, AAS, XPS),
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분석
반도체 Process 및 분석
Cell 내 Overlay Confirm 용 목 차
1. 서론
2. STM (Scanning Tunneling Microscope)
3. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometer)
4. AEM (Auger Electron Microscope)
5. AFM (Atomic Force Microscope)
6. NSOM (Near-field Scanning Optical Microscope)
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서 론
2. 이론적 배경
2.1 Optical Parametric Oscillation에 의한 파장가변 원리
2.2 OPO의 출력특성
2.3 Beta-barium borate의 광학적 성질
3. 공진기 구성
4. 출력 특성
4.1 OPO의 조율(tuning)
4.2 출력 에너지
4.3 선폭
5. 결 론
참고 문헌
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