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Alpha-Step으로 TFT-array의 단차 측정을 하여 측정한 결과를 2주차 현미경결과와 비교한다.
Ⅱ. 실험 재료 및 기구 : 3.5”(AUO, LG전자), 4.8”(삼성전자) LCD패널, Alpha step측정기, 4-point probe, UV-VIS spectroscopy, 각종 Optical Film & BLU.
Ⅲ. 실험 방법 R
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스텝 위치에 불확실성을 가져온다. 현재 우리학교 실험실에 보유하고 있는 스타일러스법에 의한 측정 장비는 그림 5.에 나타난 Alpha-step 500이다. 측정시의 스캐닝 범위는 수백 Å에서 수백 ㎛ 정도이고 수직 해상도는 100Å 정도이다.
그림 5. Alp
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스텝 위치에 불확실성을 가져온다. 현재 우리학교 실험실에 보유하고 있는 스타일러스법에 의한 측정 장비는 그림 5.에 나타난 Alpha-step 500이다. 측정시의 스캐닝 범위는 수백 Å에서 수백 ㎛ 정도이고 수직 해상도는 100Å 정도이다.
그림 5. Alp
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step(T) %스텝 응답을 확인한다
pause
clear 1. 디지털제어 교재 9장 연습문제 48 (p.521)
1)좌표측정기의 개념은?
◇ 좌표측정기란?
◇ 좌표측정
2) 노치필터 보상기란?
3) 폐루프 보상 기법을 이용한 설계 과정 및 설계 결과
◇ 부루프가 =0.5
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ALPHA STEP
황산구리 수용액(CuSo4+H2O) DC POWER SUPPLY
4. 실험 과정
스테인레스 기판 5장을 세척하여 준비한다.
WISE STIR(마그네틱 바)를 이용하여 비커 속의
황산구리 수용액을 교반하여 준비한다.
지지대의 플라스틱 부분에 스테인레스 기판을 진공
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Alpha step을 이용해 두께를 측정한 뒤, 이를 플로팅하여 Rate를 구하려고 했습니다. 그런데 실제로 증착을 진행해 보니 두께가 점점 얇아지는 문제가 있었습니다. 원인을 분석하기 위해 기록해 놓은 공정 조건 데이터를 모두 비교했습니다. 그 결
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