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전문지식 14건

ESCA(XPS)의 장점은 Charge up의 영향이 AES보다 적으므로 절연체 시료 분석이 용이하다. X선 조사에 의한 시료 손상은 전자선 조사에 비해 경미하고, 화학상태분석, (반)정량 분석이 용이하다. Ion Sputtering, 각도분해법으로 비파괴 깊이방향 분석 가
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여년 동안 ESCA는 특히 고체표면과 계면의 구성원소나 그의 화학 결합상태를 밝혀내는 전자 분광법의 하나로 금속, 촉매, 반도체 소자 재료, 세라믹스, 박막, 고분자 피막 등의 연구에 널리 이용되면서 새로운 연구분야로 각광받고 있습니다다.
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이에 따른 정전기적 상호작용에너지 때문이라고 풀이된다. 이 Chemical shift 현상을 이용하면 전자의 결합에너지를 정확히 측정함으로써 원소의 성분만이 아니라 그 원소의 화학결합상태까지 알아낼 수 있다. (2) ESCA 장치의 주요 구조 ESCA 장치
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  • 등록일 2011.01.24
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escape depth와 back-scattering 인자도 상쇄되어 NA/NAS = IA/IAs의 아주 간단한 식을 얻는다. 표준 시료를 쓰지 않을 때에는 한 원소를 기준으로 하여 다른 모든 원소들에 상대 감도 S를 부여하는 방법이 이용된다. 원소 A의 상대 감도를 SA라고 하면 x라는
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  • 등록일 2006.11.23
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ESCA를 이용한 박막의 두께 측정 박막이 ESCA로 관찰할 수 있는 깊이 이내의 두께를 가질 때에는 ESCA에 의한 박막의 두께 측정이 가능해진다. 그림에서 S는 박막 F를 입히는 데에 사용한 기질이고 O는 박막 위에 생긴 덧층(overlayer, 주로 진공 중에
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