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및 검출 한계
1. 감도
2. 검출한계
(4) 적용범위
(5) 분석방법
2. XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) ESCA 장치의 주요 구조
(3) 광전자 스펙트럼 (Photoelectron spectrum)
(4) 화학적 이동 (Chemical shift)
(5) 정량 분석 (Quantitative analysis)
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X-ray photoelectron Diffraction, 전자 beam을 이용하는 Low Energy Electron Diffraction, Reflection High Energy Electron Diffraction, 원자 단위의 resolution을 가지는 Scanning Tunneling Microscopy, Atomic Force Microscopy 등을 다양하게 구사해야 한다.
5. 참고 문헌
물리학 실험 B-2 XPS m
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XPS도 X-ray의 매우 넓은 영역을 쏘기 때문에 국부적인 부분은 확인을 못하다. 즉 수평적인 해상도가 좋지 못하다. 하지만 Bulk의 정량정인 분석에는 효과적이고 또한 AES(Auger Electron Spectroscopy)와 비교하였을 때 원자번호 32번 이상일 때 신뢰성이
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불안정하여 표면에너지가 최소로 되어 안정화한다.
이러한 물질의 성질에 의해서, 표면은 bulk 내부의 원자배열과 달라 재배열이 일어난다. 1. XPS Definition
2. XPS Principle
3. XPS의 Construction
4. XPS Analysis
5. XPS Application
6. XPS 장 단점
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Depth of field
Imaging mode
Example
EDS, WDS, EBIC, EBSD
XPS
Introduction
Principle
Instrument
X-ray source
Electron energy analyzers
Detector
Satelite lines
Sample preparation
Analysis
Elemental analysis,
Chemical state analysis
Quantitative analysis
Depth profile analysis
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