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1. 반도체 노광 공정 시장 점유율
2. EUV용 Pellicle 시장 규모 및 개발 현황
3. EUV용 Mask 기술 현황_1(Mask Writing 장비)
4. EUV용 Mask 검사 기술 현황 및 시장 규모_1
5. EUV용 Mask 검사 기술 현황 및 시장 규모_2
6. EUV용 계측 기술 현황 및
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. FinFET은 입체적으로 튀어나온 채널의 모양이 상어 지느러미처럼 생겼다는 이유로 이름 붙여졌으며 Fin 모양의 3D 구조가 적용된다. FinFET 공정에서는 접점 면적을 늘려 트랜지스터 성능을 향상하고 누설 전류를 줄임으로써 첨단 반도체를 생산
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삼성전자 압도
→ TSMC는 수익 구조의 근본적 개선을 위해 자체 설비 개발에 매년 엄청난 금액을 투자하고 있음
→ 삼성전자는 다양한 사업을 영위하는 관계로 자체 설비 개발에 투자할 여력이 부족
- TSMC의 모토 → ‘고객과 절대로 경쟁하지
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노광장비를 생산하는 데 전세계에서 독점적인 기술을 가지고 있으며 더 나아가 최대 생산할 수 있는 장비의 양이 제한적이기 때문에 EUV 노광장비 시장에 있어 ASML은 생산자임에도 불구하고 막강한 영향력을 행사할 수밖에 없다. 더 나아가 AI,
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EUV Tech.
◈ 각 타입에 대한 공정 Table과 그에 대한 세부 설명
1. Double patterning and exposure
『<공정 테이블> 첨가』
두번의 노광을 통한 CD를 줄이는 방법과, etch와 노광의 반복으로 CD를 줄이는 방법, spacer를 이용한 방법
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