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AES 결과를 보고 as-dep 상태의 박막 불순물을 확인하시오. 이후 열처리에 따른 불순물 거동이 어떻게 될지 예측하여 설명하시오. Sputter ↓ ↓ ↓ ← 불순물(C,O) ← TiN증착면에 불순물이 달러붙어 있다. Co TiN Si 위의 그래프를 보면 증착된 Co에서 S
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AES(Auger Electron Spectroscopy) (1) 기본원리 (2) AES/SAM의 구조 1. Electron Gun 2. Energy Analyzer 3. UHV chamber (10-10 torr) 4. Ion gun (3) AES분석의 종류 1. Auger Image Mapping 2. Auger Spectra 1)정성 분석 2)정량 분석 3. Auger Point Analysis 4. Auger Line Scan 5. 수직분포
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Image를 볼 수가 있으며, 동시에 AFM의 각종 Image를 함께 볼 수가 있습니다. 이 NSOM 기술은 현재 광통신 분야의 연구와 미생물학, 화학, 반도체 등 여러 분야에서 응용되고 있습니다. NSOM의 핵심은 Probe-Tip을 만드는 기술이며,그 구조나 원리는 일반
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  • 등록일 2008.05.06
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image Mapping 이차원 표면에 존재하는 특정원소의 분포 상황을 보여주는 것으로 electron analyzer의 에너지 범위 분석하고자 하는 원소의 Auger특성 에너지 값을 포함하도록 설정한 후 전자빔을 분석 면에 주사시켜 위치별로 감지된 Auger 특성피크의
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AES(Auger Electron Spectroscopy) (1) 기본원리 (2) AES/SAM의 구조 (3) AES분석의 종류 (4) 충전효과(charging effect) (5) 주요 적용 범위 (6) 시료 준비 (7) 장점과 단점 6. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) (1) EDS 개요 (2) EDS를 이용한 정성분석 (3) EDS를 이
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