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AES 결과를 보고 as-dep 상태의 박막 불순물을 확인하시오. 이후 열처리에 따른 불순물 거동이 어떻게 될지 예측하여 설명하시오.
Sputter
↓ ↓ ↓
← 불순물(C,O)
← TiN증착면에 불순물이
달러붙어 있다.
Co
TiN
Si
위의 그래프를 보면 증착된 Co에서 S
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AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포
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Image를 볼 수가 있으며, 동시에 AFM의 각종 Image를 함께 볼 수가 있습니다. 이 NSOM 기술은 현재 광통신 분야의 연구와 미생물학, 화학, 반도체 등 여러 분야에서 응용되고 있습니다.
NSOM의 핵심은 Probe-Tip을 만드는 기술이며,그 구조나 원리는 일반
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image Mapping
이차원 표면에 존재하는 특정원소의 분포 상황을 보여주는 것으로 electron analyzer의 에너지 범위 분석하고자 하는 원소의 Auger특성 에너지 값을 포함하도록 설정한 후 전자빔을 분석 면에 주사시켜 위치별로 감지된 Auger 특성피크의
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AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
(3) AES분석의 종류
(4) 충전효과(charging effect)
(5) 주요 적용 범위
(6) 시료 준비
(7) 장점과 단점
6. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
(1) EDS 개요
(2) EDS를 이용한 정성분석
(3) EDS를 이
조성측정방법 TGA, XRD DTA, 재료의 조성 측정방법(XRD, TGA, DTA, FTIR, AES, EDS, XRF, ICP-MS, AAS, XPS),
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