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열처리할 경우도 불순물농도는 더 많은 양이 증가될 것 같다. 재결정에 의해 깨진 박막 표면에 공기 중의 탄소나 산소와 결합을 하고, 위해서 말한대로 열처리 온도가 높아 그 만큼 불순물이 높아지기 때문이다. 1. 목 적
2. 이론적 배경
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기판에 절대 불순물이 닿지 않도록 주의 해야 한다는 것이다. 또 RCA세정시 염산을 사용하기 때문에 취급에 있어서 많은 주의가 필요했다. 실험목적
실험방법(RCA - 증착 -열처리)
실험배경이론
실험 결과(유전율, 손실 전하량 그래프
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양자형 센서
(a) PbS 센서
(b) |nSb 센서
(c) HgCdTe 센서
5. 연구동향
1) (Pb, La)TiO3/LiTaO3/(Pb, La)TiO3 다층 강유전 박막을 이용한 초전형 적외선 센서
2) MgO 기판 위에 올린 박막의 특성과 적외선 센서의 제작
6. 향후 개발동향
7. 참고문헌
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증착되지 못하였다. 그리고 열처리공정으로 건조시킨 후 5mm5mm크기로 자를 때 유리가루나 이물질에 의해서 박막이 손상되었을 수 있다. 마지막으로 용액을 만들 때 50℃에서 1시간동안 유지하여야하나 온도가 50℃를 넘거나 50℃이하가 되는 등
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증착속도 빠르다 (50A/sec)
- 고융점 재료의 증착이 가능하다
- Multiple deposition이 가능하다
단점) - X-ray 발생
- E-beam source위에 원자의 농도가 크므로
와류 또는 discharge가 심하다
※ 참고자료
http://www.semipark.co.kr/semidoc/basic/plasma.asp?tm=1&tms=4
http://blog
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증착법
(2) 열처리에 의한 재결정법
(3) 직접 증착법
(4) 엑시머 레이저 열처리법
ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥6
(1) 결정화 순서
(2) 공 정
(2-1) 전반적 공정
(2-2) E
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후 분자 배열 10
[그림 2-13] 프리틸트 각의 필요성 10
[그림 2-14] OCB액정의 응답속도 11
[그림 3-1] 프리틸트각의 측정 14
[그림 4-1] 배이킹 시간에 따른 프리틸트각 15
[그림 4-2] 결정회전법으로 나타난 그래프 15
[그림 4-3] TN 상승시간 16
[그림 4-
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//asmddc.hanyang.ac.kr/research/image/img19.jpg>
박재근 · 백운규. <PoRAN 최근 연구 동향 및 향후 개발 방향>. 물리학과 첨단기술 (특집 차세대 메모리 편) 2005. 9.
박재근, <차세대 비휘발성 메모리 소자>. 특집 차세대 메모리. 물리학과 첨단기술
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//www.ihaneol.kr/)에서 많은 교육 세미나가 있기에 참여하면 좋다.
6. 참고 문헌
1) 로봇공학 : James Keramas 저서, 이만형. 고경철. 노태정. 박희재. 부광석. 안병하. 이 민철. 정원지. 제우성 공역, 사이텍미디어, 2000 (원서 : Robot Technology Fundamentals, Thom
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(1) NANDA와 연결된 간호문제
(2) 간호문제와 관련된 검사결과
3) 임상 검사 결과
4) 약물
2. 간호진단
1) 우선순위에 따른 간호진단 & 자료
3. 간호계획, 중재, 평가
4. 문헌고찰
5. 간호사정도구
6. 참고문헌
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기판에 10분 간 증착을 진행한 후, Alpha step을 이용해 두께를 측정한 뒤, 이를 플로팅하여 Rate를 구하려고 했습니다. 그런데 실제로 증착을 진행해 보니 두께가 점점 얇아지는 문제가 있었습니다. 원인을 분석하기 위해 기록해 놓은 공정 조건
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공정개선 능력은 공정기술직무에서 웨이퍼의 생산데이터를 분석하여 Defect을 찾아내고 개선하는데 도움이 될 것입니다. Q1 삼성전자를 지원한 이유와 입사 후 회사에서 이루고 싶은 꿈을 기술하십시오. 700자 (영문작성 시 1400자) 이내
Q2
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열처리 방법에 대해 특징들을 아는대로 설명하시오.
13. 열전도도(Thermal conductivity)의 개념을 설명하고, 열역학(Thermodynamics)과 열전달(Heat transfer)의 차이점을 설명하시오
14. 물풍선을 던져서 터뜨리지 않고 받는 방법을 설명하고 이와 관련
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