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닿지 않도록 주의 해야 한다는 것이다. 또 RCA세정시 염산을 사용하기 때문에 취급에 있어서 많은 주의가 필요했다. 실험목적
실험방법(RCA - 증착 -열처리)
실험배경이론
실험 결과(유전율, 손실 전하량 그래프와 값)
토의및감상
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SBT 600 ～ 850℃)
○ SBT 박막층의 두께 변화(1000 ～ 4000Å)
● Liquid Delivery MOCVD 공정을 이용한 강유전체 SBT 박막의 제조기술에 관한 연구 - 고려대학교 재료공학과
○ 위 논문을 읽고 참고하였는데 SBT 박막을 660～780℃까지를 40℃ 간격으로 열처리
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참고문헌
● 네이버 지식 - 재료과학과 공학
● 한국 세라믹 학회지 1990년 27권 1호
● 한국 세라믹 학화지 2003년 40권 1호
● 물리학과 첨단세계 2005년 10월 ■ 박막 제조 공정
펌프종류
● Sputtering의 종류
PVD
CVD
유전체란
강유전체란
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은 품질계수와 낮은 노이즈 특성을 갖고 있기 때문에 넙ㄹ은 주파수 범위에서 건 다이오드와 함께 전압제어 발진기에 사용된다.
평판안테나 : 소형경량화가 중요한 GPS system에 기존의 안테나용 기판 재료인 테프론(유전율 약2) 대신에 유전율 2
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