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강유전체가 가지는 물성은 이 자발분극의 역전현상에 의해 D-E 이력곡선을 보이는 특징과 함께 압전성(piezoelectric)과 초전성(pyroelectric)을 보인다. 강유전체의 이러한 특성을 이용한 응용연구를 간단히 아래에 소개한다. 강유전체를 응용한 소
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박막형성장치의 최대 과제는 메인티넌스(Maintenance)이다. 파티클, 메탈 컨태미녀이션 등도 박막형성장치 특유의 문제이다. 단, CVD 장치와 스파터 장치는 원리가 다르기 때문에 공통적인 대책은 찾기 어렵다.
* PLD(Pulsed laser deposition)란?
펄스레
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박막형성장치의 최대 과제는 메인티넌스(Maintenance)이다. 파티클, 메탈 컨태미녀이션 등도 박막형성장치 특유의 문제이다. 단, CVD 장치와 스파터 장치는 원리가 다르기 때문에 공통적인 대책은 찾기 어렵다.
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강유전체의 유전 및 전기적 특성을 이해하였고 실험시 가장 중요한 것은 Si기판에 절대 불순물이 닿지 않도록 주의 해야 한다는 것이다. 또 RCA세정시 염산을 사용하기 때문에 취급에 있어서 많은 주의가 필요했다. 실험목적
실험방법(RCA
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lectric)과 초전성(pyroelectric)을 보인다. 강유전체의 이러한 특성을 이용한 응용연구를 간단히 아래에 소개한다. 강유전체를 응용한 소자개발들을 참고하면 강유전체의 유용성과 가치가 얼마나 큰 지 알 수 있을 것이다. 압전성이라고 하는 것은
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