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Dry etcher의 분류
플라즈마 식각 장치
반응성 이온 식각 장치
(Reactive ion etching, RIE)
이온 빔 밀링(Ion beam milling)장치 Etching의 정의, 방법
Dry etching의 개요, 분류
Plasma etching, Ion beam milling
Reactive ion etching
공정 변수에 따른 식각
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공학\', 복두출판사, 1995
[6] 이종덕, \'실리콘집적회로 공정기술\', 대영사, 1997
[7] 신현국, \'CVD/ALD 재료 기술 동향\', (주)유피 케미컬, 2005
[8] 김상훈, ‘Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition’, 전북대학교, 2008
참 고 사 이 트
[9] http://blog.naver.com/ycin630
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공학회지 제24권 제12호
-PDP 기술 동향 / 신동기 / 전자공학회지 제24권 제3호
-PDP 연구개발 현황 및 시장 동향 / 박명호 / 전기전자재료학회지 제 13권 제8호
-유망 전자기기, 부품 현황 분석 PDP, IT 리포트, KETI, 2004. 12.
-플라즈마 디스플레이의 기
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공학과 생물산업의 정의를 각각 1982년 OECD의 것과 1991년 미국 상무성 OTA의 것을 기준으로 하여 사용하고 있다.
현재의 분류체계는 통계청 기준의 표준산업분류체계와는 별개의 것으로 자료의 조사분석에 한계가 있어, 광공업통계 등 기존 통
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공학 기술과 결합하여 고등식물에서 유전공학 기술을 완성시키는데 필수적인 기술로 자리잡고 있다. 최근에는 분자 생물학의 발전 및 연구 기자재의 개발에 따라 유전자 수준에서의 조직배양 관련 기작의 연구가 가능하리라고 보며 이와 더
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