|
HEPA 필터란?
'헤파(HEPA) 필터‘(High Efficiency Particulate Air Filter) 란 원자력 연구가 시작된 초기 연구원들의 건강을 위협할 수 있는 공기중의 방사성 미립자를 정화시키기 위해 개발된 공기정화 기술이다.
ULPA 필터란?
울파(ULPA)필터란 HEPA 필
|
|
|
ULPA FILTER)
E형
MIL규격 합격품(유독물질,발암물질,방사선동위원소,유해균,화학물질 등에 사용되는 특수품)
Classification
by Materials
1급
내화성(Fire Resistance)
2급
준내화성(Semi Fire Resistance)
Strength
차압 10인치 수주에 15분간 견딜 것
Repairs
스풋보수
|
|
|
효율(Performance) : low, medium, HEPA(high efficiency particle air), ULPA(ultra low penetration air)
걸러지는 원리 : 매개체 여과식, 전기 집진식
매개체 성격 : 건식, 점착식
매개체의 모양 : 평판형, 다른 형태 표면(예 : 주름형)
재생 가능 여부 : 유닛형, 롤형,
|
|
|
배지가 찢어지는 등, 도말을 제대로 할 수가 없다.
5. clean bench와 hepa filter
가. clean bench
배지를 보관할 때 오염되지 않도록 하는 장치. 특히 PRE FILTER, HEPA FILTER, ULPA FILTER가 있어 오염을 막아준다. (<오른쪽>)
나. hepa filter
<그림>에서 보면
|
|
|
ULPA 휠터
청정실덕트모듈( Clean room ducted module)
압력충만실(Clean room pressurized plenum)
청정실청정실공기순환장치(Clean room return air)
기류방식
BIO-CLEAN ROOM의정의
BCR class
산업분야별청정도
산업장비용청정실
반도체물질-실리콘
|
|
메뉴펼치기
