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1,2 모두 Mho형인 Zone3가 동작하는 조건에서 Trip이 이루어지도록 구성해야 한다. 이들 거리계전기는 계통 고장시의 위상, 즉 고장Angle에서 가장 민감하게 동작하도록 해야 하며 이 Angle을 최대감도각이라 하고 MTA(Maximum Torque Angle) 또는 RCA(Relay Char
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zone2구조를 하고 있다. 반면에 PAPVD film은 비평형증착으로 미세한 입계구조를 지니고 있으며 많은 양의 점결함을 가지고 있어서 CVD보다 더 단단하다.
CVD-TiN은 비교적 낮은 인장응력을, PAPVD TiN은 높은 압축응력의 잔류응력을 함유하고 있으며,
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zone2구조를 하고 있다. 반면에 PAPVD film은 비평형증착으로 미세한 입계구조를 지니고 있으며 많은 양의 점결함을 가지고 있어서 CVD보다 더 단단하다.
CVD-TiN은 비교적 낮은 인장응력을, PAPVD TiN은 높은 압축응력의 잔류응력을 함유하고 있으며,
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