as-dep 상태의

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Si(p-type) 기판위에 MOCVD TiN / MOCVD Co를 In-Situ 공정으로 증착 후 열처리 온...

as-dep 상태의 박막 불순물을 확인하시오. 이후 열처리에 따른 불순물 거동이 어떻게 될지 예측하여 설명하시오. Sputter ↓ ↓ ↓ ← 불순물(C,O) ← TiN증착면에 불순물이 달러붙어 있다. Co TiN Si 위의 그래프를 보면 증착된 Co에서 Si까지 Sputter시간

FESEM image AES, AFM image MOCVD, Si(p-type) 기판위에 MOCVD TiN / MOCVD Co를 In-Situ 공정으로 증착 후 열처리 온도에 따른 비저항 거동,

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등록일 2007.09.20
파일종류 한글(hwp)
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