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- 일정한 실내의 공기 중에 존재하는 먼지 미립자 뿐만 아니라 온도, 습도, 압력 및 산소의 비율, 기류의 분포와 속도 등을 일정한 범위 내로 유지하기 위하여 환경적으로 제어되는 밀폐된 공간을 말합니다.
공기류의 방향, 구조, 환기 횟구등
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tor
반도체 공정개론 / 교보문고 / 이살렬 외 2명 공역
반도체 공정기술 / 생능 / 황호정 저
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정 / 정항근 외 2명 진공증착의 기본 개념
박막두께
Thermal evaporator 의 용도
Thermal evaporator 의 작동원리
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(Ion Implantation)
[2] http://en.wikipedia.org/wiki/Amorphous_silicon (Amorphous Silicon 1)
[3] http://blog.naver.com/lee_jinhwan?Redirect=Log&logNo=50178138694 (Amorphous Silicon 2)
[4] http://www.cleanroom.byu.edu/ImplantConCal.phtml (Calculator) 1. Introduction
2. Profiles
3. Conclusions
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