Ti 박막을 전극 Buffer layer로 이용한 SAW Filter 특

목차

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

(1) 웨이퍼의 세척
(2) Ti 박막 증착
(3) Al 박막 증착
(4) PR(Photoresist) 증착
(5) 노광
(6) 현상

Ⅲ. 결과 및 고찰

Ⅴ. 결론

본문내용

정한 관계는 일반적으로 주파수 특성에서의 ripple은 IDT 라인이 얼마나 정확한 모습을 유지한 상태에서 작동하느냐에 달려있다는 사실에 비추어 생각해 볼 수 있다. 실제 SAW filter 제조 공정 중 Ti의 두께에 비례하여 IDT 라인의 에칭이 보다 정확하게 이루어진다는 면에서 Ti이 전극물질과 압전기판 사이의 접착성을 향상시켜 보다 에칭성을 향상시켰기 때문으로 생각할 수 있으며, 이에 대하여 보충적인 실험이 앞으로 진행되어야 할 것으로 생각된다.
Ⅲ-3. Ti 박막 두께에 따른 삽입 손실
전기·기계적 결합 계수가 매우 작은 Quartz(0.16%)를 기판으로 한 SAW Filter는 Ti 박막의 두께가 50Å, 100Å인 경우 Al 전극만 증착한 SAW Filter에 비해 삽입 손실의 변화가 거의 없었다. Table 6은 LN 128°Y-X 기판을 사용하였을 때 Ti 박막 두께를 달리 하면서 측정한 삽입 손실을 나타낸 것이다. Ti 박막이 없는 SAW Filter에 비해 삽입 손실의 변화는 거의 없다고 할 수 있다.
일반적으로 Resitivity가 나빠지면 삽입 손실도 나빠지는데 Resitivity가 Al보다 나쁜 Ti 박막을 삽입했음에도 불구하고 삽입 손실에는 변화가 없었다. 이는 아직 실험적으로는 정확히 밝히지는 못했지만 한가지 추론해 볼 수 있는 것은 본 연구에서 제작한 SAW Filter의 경우, 파장이 24μm인데 비해 증착한 Ti 박막의 두께는 가장 두꺼운 Sample이 3200Å정도로서 SAW 파동에너지의 90%정도가 압전판에서 깊이 3/4파장 정도의 범위에 있다는 사실을 놓고 볼 때 Ti의 두께가 주파수 특성에 영향을 미칠 정도의 두께가 되지 않았기 때문인 것으로 생각된다. 이러한 결과를 놓고 볼 때 본 연구에서 만든 Ti 박막을 삽입한 SAW Filter의 내전력성 측정이 앞으로의 연구에서 필요한 부분인 것 같다.
Ⅴ. 결론
이상으로 본 연구에서 얻은 결론을 요약하면 Ti Deposition과 Etching 공정을 추가하여 양방향 Transversal형 SAW Filter를 제작함에 있어서 각 공정별 최적 조건을 찾았으며, 기존의 제품보다 삽입 손실이 적은 Filter 특성을 얻을 수 있었다. 또한 Al/Ti/Quartz(SiO2) 구조의 SAW Filter에서 Al 전극과 Quartz 기판은 식각시키지 않으며 Ti 박막만 에칭할 수 있는 Wet 에칭용액을 본 실험을 통해 찾아 내었다. 이 때 사용한 Ti 에칭액과 기판 Wafer의 종류별 SAW Filter 특성은 다음과 같이 요약된다.
1. Al/Ti/Quartz(SiO2) 구조의 SAW Filter에 있어서 Al전극과 Quartz 기판은 식각시키 지 않으며 Ti 박막만 에칭할 수 있는 효과적인 Ti 에칭 조건을 조사한 바 실리콘 웨 이퍼 청정용액으로 잘 알려진 SC-1( H2O : H2O2 : NH4OH = 5 : 1 : 1)을 사용하면 Ti 박막의 선택적 Wet에칭에 매우 효과적이다.
2. LN 128°Y-X Wafer의 경우 11∼12dB 정도의 저삽입 손실형 Filter를 얻었고, Shape Factor는 이상적인 각형에 가까운 반면 LN 64°Y-X Wafer의 경우 LN 128°와 비슷 한 저삽입 손실을 나타내었으며 Bluk파로 인한 저지대역 감쇠가 현저하지 못하였고 Quartz ST의 경우 삽입손실이 50dB 전후로 다른 웨이퍼에 비해 현저히 떨어지기 때 문에 특수한 목적에만 사용된다.
3. Ti을 Al과 압전기판 사이에 buffer layer로 사용한 경우, Ti 두께에 비례하여 주파수
특성에서의 ripple이 일정하게 줄어들어 Ti을 적절히 적용함으로써 전극과 압전 기판
과의 접착력을 향상시켜 최종적으로 주파수 특성에서의 노이즈 성분에 해당하는
ripple을 줄일수 있었다.
4. 압전 웨이퍼가 Quartz 인 경우 Ti 박막의 두께가 50, 100Å일때는 삽입 손실의 변화 가 Al/Quartz 구조의 SAW Filter와 비교해 별 차이가 없으며 압전 웨이퍼가 LN 12 8°Y-X, LN 64°Y-X인 경우 Ti 박막의 두께를 3200Å 정도까지 증가시켜도 삽입 손실엔 큰 영향을 미치지 않는다.
참고문헌
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