Sol-Gel 법에 의한 SiO₂Gel의 제조 실험 보고서

목차

1. 실 험 목 적

2. 실 험 이 론

3. 실험기구 및 시약

4. 실 험 방 법

5. 과 제

본문내용

이 없는 불꽃을 내며 탄다. 증기에 인화하면 폭발하는 수가 있다. 산화하면 아세트알데히드를 거쳐 아세트산이 된다. 단백질을 응고시키는 성질을 가지고 있으므로 살균작용이 있다. 살균력은 70 % 수용액이 최대이고, 60 % 이하 및 80 % 이상에서는 소독 ·살균력이 거의 없는 것과 마찬가지이다. 천연으로는 카르보닐산의 에스테르의 형태로 존재하며, 유리상태로는 거의 존재하지 않는다.
2 염산
보통 무색이고 농도 35 % 이상의 것을 진한 염산이라고 한다. 진한 염산은 습한 공기 중에서 두드러지게 발연하고 자극적인 냄새가 나는 용액이며, 일염기산은 전형적인 강한 산이다. 공업용 염산에는 염화철 등이 함유되어 있어 황색을 띤다. 시중에서 판매되는 것은 37.2 %(100 g 내에 있는 염화수소의 그램수)로 약 12 N, 비중 1.190이다. 또 10 % 이하를 묽은 황산이라고 한다. 농도 C %와 비중 d의 관계는 C=200(d－1)로 표시된다. 1기압하에서는 일정한 끓는점 108.584 를 가진다. 20.24 %에서 물과 공비혼합물을 만들기 때문에, 농도에 관계없이 끓는점은 차차 올라가며, 이 온도에서 증발분과 잔류분이 같아진다. 아연 ·알루미늄 ·주석 등 이온화경향이 큰 금속과는 반응하여 수소를 발생시킨다. 이온화경향이 작은 은 ·수은 ·금 ·백금 등과는 반응하지 않으나, 구리 ·철 ·니켈 등과는 가열하면 녹는다. 금속의 산화물은 일반적으로 반응하여 염화물이 된다. 비금속과는 거의 작용하지 않는다.
3 Tetraethyl Orthosilicate(TEOS)
　정규산4 에틸 Si(OC2H5)4 [생략해 TEOS]는, 1846년에 에이베르멘에 의해 사염화규소 SiC14로 에탄올로부터 합성되어 옛부터 알려진 아르코키시드이다.
　아르코키시드와는 알콜화물이라고 하는 의미로, 다른 유기 금속에 비해 발화하기 어려운, 휘발성의 물질이 많은, 복합 금속 산화물을 만들기 쉬운, 등 많은 특징을 가지고 있다. 이때문에, TEOS에의 첨가제로서 사용되는 린화합물 P(OCH3)3 [TMP], PO(OCH3)3 [TMOP], PO(OC2H5)3 [TEOP]나 붕소화합물 B(OCH3)3 [TMB], B(OC2H5)3 [TEB], 또, 고유전체막원료의 Ta(OEt)5등 전자 디바이스용으로도 유용한 것이 있다.
TEOS의 용도
　①보호막
　②소자와 배선과의 사이의 절연 및 공간 충전　
　③ 구멍, 배선 패턴등의 형성용의 내에칭막　
　④배선층간의 절연 및 공간 충전　
　⑤불순물을 가림, 고정, 흡수하기 위한 저지막
TEOS의 성질
　TEOS는, 무색 투명한 액체로, 물에 거의 녹지 않고 기름과 같이 후에 남아 버려, 경계 있고 눈이 조금 백탁하는 정도이다. 교배해도 기름과 같이 분리해, 하룻밤 방치해도 2개의 액체로 나누어진 채로 있다. 다만 산을 더하면(자) 즉시 가수분해해 희게 탁해져, 에탄올과 이산화 규소 SiO2가 된다.　
　물에는 녹기 어렵고, 유기용제 일반적으로는 잘 녹는다. 이것은 모노실란 SiH4가 유기용제에도 난용인 것과 대조적이며, 성막 프로세스에서의 차이의 하나이다. 유기용제가 녹는 것과 같이, 일반의 수지류에 대해서도 친화성을 나타내, 팽윤 시키거나 용 내게 하거나 하므로, 접액재료에 수지류를 이용하는 것은 피하는지, 사전 평가가 필요하다.
TEOS의 독성
6. 참 고 문 헌
① 화학공학대사전(화학공학편찬위원회 2판, 집문사, 1996) P. 394∼396
② 무기화학(I. S. Buttler, J.F. Harrod, 대영사, 1994) p.655∼p.660
③ 인터넷 검색(naver 백과사전 & naver 일본웹)
Sol-Gel 법에 의한 SiO₂Gel의 제조

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