웨이퍼(wafer)의 제조 및 기술동향

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웨이퍼(wafer)의 제조 및 기술동향에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. Wafer Preparation

2. Czochralski growth Method & Floating Zone growth Method

3. Cz grower(puller) : furnace, crystal-pulling mechanism, ambient control system

4. Pull speed(v), Segregation coefficient(k)

5. Wafer shaping > Grind, Lapping, Etching, Polishing

6. Current and future trend of wafer diameters in microelectronics

7. Manufactures of Si wafer (domestic / international)

8. Reference

본문내용

Okmectic
55.5
68.2
22.8
0.9
9
Wafer Works
29.3
35.2
32.4
0.5
10
Episil
26.6
35.2
32.4
0.5
합 계
6265.9
7639.5
21.9
100.0
<표. 세계 실리콘 웨이퍼 시장 점유율>
가. 국내업체
(1) LG Siltron
1983년 4월 코실(주)로 설립되어 1989년 4월 동부전자통신(주)으로 상호를 변경하였다. 1990년 5월 LG그룹에서 동부전자통신(주) 경영권을 인수하고 현재의 상호로 변경하였다. 1992년 7월 연구소를 설립하고, 1995년 5월 동양전자금속(주)의 이천 공장을 인수하였다. 10월 대구경 웨이퍼 단결정 생산 공장 준공 및 대구경(64MD램용) 웨이퍼 생산 공장을 기공하였고, 1997년 4월 대구경(64MD램용) 실리콘웨이퍼 생산 공장을 준공하였다. 2001년에 자체개발 8인치 Grower 및 첫 Prime Ingot을 생산하기 시작하였고, 2003년에는 자체 개발한 12인치 Grower 및 첫 Prime Ingot을 생산하였다.
사업부문
품목
구체적 용도
매출액(백만 원)
매출대비
반도체 및 기타전자부품 제조
실리콘 웨이퍼
반도체 재료
199,931
100%
<표 실트론 주요 제품 현황 (2005년 반기)>
(단위 : 백만 원)
사업부문
품 목
2003년
2004년
2005년 반기
반도체 및 기타전자부품 제조
실리콘 웨이퍼
수 출
304,171
382,464
191,701
내 수
9,096
8,547
7,883
합 계
313,262
391,011
199,584
Ingot 외
수 출
53
32
5
내 수
679
834
342
합 계
732
866
347
합 계
수 출
304,224
382,497
191,706
내 수
9,775
9,381
8,225
합 계
314,004
391,878
199,931
<표 . 실트론 연도별 매출실적>
(2) 동부아남반도체
1956년에 설립된 동부아남반도체는 한국 최초의 반도체 제품을 생산, 수출한 반도체 제품 제조 중심의 업체로 1977년에 증권거래소에 상장하여 지속적으로 성장하다가, IMF 시절에 일부 사업부를 매각하는 등 어려움을 겪은 후 2002년에 동부그룹에 편입되었다. 2004년 12월에 동부전자와 아남반도체를 통합하여 동부아남반도체 통합 법인이 출범하였다. 2006년 동부일렉트로닉스(주)로 사명을 변경한 후, 웨이퍼 산업에서 손을 뗀 것처럼 추측된다.
매출유형
품목
구체적 용도
매출액(백만 원)
매출대비
제품
(Wafer)
Fabricated
System-LSI
Wafer
신호처리용 Chip
(Handset용 등) 등
제조용 Wafer
140,352
100%
<표. 동부아남반도체 주요 제품 현황>
(단위 : 백만 원)
사업부문
품 목
2003년
2004년
2005년 반기
실리콘 웨이퍼
수 출
199,674
134,121
106,128
내 수
63,183
28,124
34,224
합 계
262,858
162,245
14,0352
<표. 동부아남반도체 연도별 매출실적>
(3) 기타 반도체업체
㈜밸류애드에서 웨이퍼와 관련한 국내 기업을 조사한 결과는 아래와 같다.
구분
매출액 (백만 원)
종업원 수(명)
주요취급품목
2003
2004
2004
㈜실트론
314,256
393,246
1,335
Wafer, 태양전지
MEMC Korea㈜
200,950
216,169
855
반도체 웨이퍼 범핑 반도체용 현상액
㈜네패스
59,184
90,082
244
Graphite Carbon, Si Wafer
㈜아이테스트
16,685
38,240
129
Silicon Wafer
네오세미테크㈜
11,264
24,334
65
Wafer 재활용
에피밸리㈜
9,235
15,673
79
메모리, LCD, Wafer
포티조
9,062
5
재생 Wafer
㈜에피플러스
9,062
6,439
50
고휘도 화합물 반도체,
EPI Wafer
㈜남강하이테크
2,044
1,651
12
광반도체 Wafer
비앤피사이언스
1,196
1,296
16
갈륨비소 반도체용 Wafer
아이티엠티
1,280
11
Si Wafer, Glass Wafer
이레테크
421
5
SOI Wafer
㈜옵토웰
233
Si Wafer
옵토웨이퍼테크
71
Glass Wafer
디에스정공
17
EPI Wafer
<표. 국내 웨이퍼 관련 기업정보, ㈜밸류애드 2005.9월호 참조>
나. 해외업체
(1) Shin-Etsu Handotai
300㎜와 SOI 실리콘웨이퍼 등의 제품으로 세계 1위를 고수하고 있는 반도체 업체이다.
시라카와(白河)공장에 3 0 0㎜웨이퍼 일관 생산 설비를 짓지만, EPI를 주로하는 프라임 웨이퍼로 비중이 옮겨갔음. 200㎜웨이퍼는 말레이시아 등 기존 공장을 최대한 활용할 예정이다.
자동차 전장품이나 정보통신기기, Plasma Display Panel 등의 구동 I C용 후막 SOI 웨이퍼의 경우 계속적인 성장이 기대됨. 후막웨이퍼 실적과 시장 점유율로, 향후 차세대 L S I용 기판에 집중할 예정이다.
(2) 미쓰비시스미또모 실리콘
· 스미토모금속공업과 미쓰비시 머티얼 실리콘의 실리콘웨이퍼 사업이 합쳐진 업체이다. 대기업 2개 업체의 웨이퍼 벤더가 가지고 있는 방대한 노하우가 강점으로 꼽힌다.
· 이마리(佐賀) 공장에서 대구경 300㎜ 웨이퍼 20만매까지 생산할 수 있고, 200㎜ 웨이퍼와 Silicon On-Insulator(SOI)에도 투자하고 있다.
(3) 도시바세라믹스
· 동남아에서 LCD드라이버 IC나 바이폴러 IC, 리니어 IC용 소구경의 수요가 증가하고 있기 때문에, 소구경 및 200㎜ 웨이퍼의 중국 이전을 추진 중에 있다.
· 니이가타에 300㎜ 웨이퍼 생산라인을 완성, 미국이나 대만수요에 대처하기로 하고 있다.
· 향후 수요 확대가 예상되는 Silicon On-Insulator(SOI) 웨이퍼는 후막제품의 양산에 주력하고 있다. ㈜애드밸류 2005.9 보고서 참조.
8. Reference
· 단결정의 새로운 성장기술 개발, 신건철, 한국과학재단
· 광학결정, 마야자와 신타로
· 전자부품연구원 전자정보센터 2005.9월 자료
· ㈜애드밸류 2005.9 보고서.

키워드

웨이퍼,   wafer,   웨이퍼 제조,   웨이퍼 산업,   웨이퍼 기술동향