Scanning Electron Microscope (SEM, 주사전자현미경)

목차

Contents(목차)
1. SEM 이론 : 23페이지
2. 장비 및 사용법 : 5페이지
3. SEM 이미지 및 분석 : SEM 이미징에 대한 다양한 변수 값을 조정하여 다양한 이미지를 찍었고 그 이미지에 대해 분석한 내용이 담겨 있습니다.
4. 참고 자료

본문내용

주사전자현미경

S E M




SEM 이론

SESSION 01




SESSION 01
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주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope)란

　≪ 그 림 ≫

집속된 전자빔을 시료표면에
주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해서 발생되는
이차전자(Secondary Electron, 이하 SE) 혹은 후방산란전자(Back Scattered Electron, 이하 BSE)를 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비이다.




주사전자현미경 SEM
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◎ 원 리

투과형과 같이 시료전체에 전자선을 쏘이는게 아니고
주사형에서는 아주 작은 전자선으로 시료를 주사(scan)하고,
전자선을 쏜 좌표의 정보에서 상을 구성하여 표시한다.
관찰시료는 진공상태(10^(-3) 이상)에서
그 표면의 전계 및 자계에서 섞인
전자선(집점직격 1~100nm정도)으로 주사한다.
주사는 직선적이지만 주사축을 순차적으로 틀어가면서
시료표면 전체의 정보를 얻는다.




주사전자현미경 SEM
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　≪ 글 - 그림 파일 ≫




≪ … 중 략 … ≫




주사전자현미경 SEM
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◎ 선원의 종류에 다른 SEM의 분류

　≪ 그 림 ≫

1) 열방사형 전자총(Thermionic emission)
가장 많이 사용하는 필라멘트로 텅스텐선을 V자로 구부린 3극 Hair pin type을
사용한다. W 필라멘트의 음극에 - Bias를 가해 2700K정도 가열되면 열전자를 발생시킨다. 생산단가가 낮고 많은 열전자를 발생시킨다. 전자빔 안정성이 우수하나,
고배율 이미지 관찰에는 적합하지 않다.




주사전자현미경 SEM
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◎ 선원의 종류에 다른 SEM의 분류

　≪ 그 림 ≫

1) 열방사형 전자총(Thermionic emission)
- LaB6 Filament
필라멘트의 음극를 LaB6로 만들었으며 음극끝을 뾰족하게 만들어 사용한다. 단결정 LaB6는 W 필라멘트처럼 전류로 직접 가열할 수 없어서 외부의 가열기를 이용하여 1700 ~2000K까지 온도를 올려 사용한다. LaB6는 W 필라멘트보다 휘도가 밝고 수명도 긴 장점이 있다. W 필라멘트보다 좋은 진공상태를 유지해야 한다.

키워드

주사전자현미경,   SEM,   Scanning Electron Microscope,   AFM,   나노,   나노 계측